在一座現代半導體晶圓廠內，潔凈的真空腔室中正進行著納米級的精密鍍膜，維持這一關鍵工藝所需穩定真空環境的，正是一套龐大而靜默運行的ULVAC PMB系列機械增壓泵系統。

在制造業的真空世界里，從大氣壓到真空的旅程充滿挑戰。當傳統的前級泵在中真空區域的抽氣效率開始衰減，一種被稱為“真空增強器"的設備便成為關鍵——這就是機械增壓泵（Roots Pump）。

日本ULVAC愛發科的PMB系列大型機械增壓泵，正是這一領域，它以無油、大抽速和的可靠性，為半導體、冶金、化工等產業的核心真空工藝提供了澎湃動力。

01 技術定位：中高真空領域的流量放大器

機械增壓泵本身并不能獨立工作，它必須與前級泵（如油回轉泵、干式泵）串聯。其核心作用是，在前級泵有效工作的壓力范圍內（通常約1Pa至1000Pa），通過一對高速、反向旋轉的轉子，對氣體進行等容輸送和壓縮，從而將前級泵的排氣能力放大數十倍甚至上百倍。

ULVAC愛發科的PMB系列正是基于這一原理，專為抽取大型真空室或處理大量氣體而設計。其“無油"特性——泵腔內沒有任何潤滑油——帶來了革命性的優勢：它能夠從容應對水蒸氣、溶劑蒸氣等可凝性氣體，而無需擔心油污污染被抽容器或泵本身因油乳化而性能下降，確保了工藝的潔凈與穩定。

02 核心技術：無油設計與結構創新

PMB系列的技術精髓，首先體現在其潔凈的無油泵腔設計。這直接解決了工業應用中常見的蒸氣處理難題，拓寬了設備在化工、食品、制藥等多樣領域的應用邊界。

其次是創新的結構布局。該系列泵允許用戶選擇排氣方向，這一設計顯著提高了設備集成時的靈活性，使得整套真空系統布局可以更加緊湊，節省寶貴的廠房空間。

為了將強大的抽氣能力與系統可靠性結合，ULVAC采用了經典的 “搖擺活塞式油回轉真空泵"作為其標準輔助泵（前級泵） 。這種組合構建了一個從大氣壓到中高真空的、堅固且高效的排氣解決方案。

03 性能解析：PMB系列的產品矩陣與極限參數

ULVAC PMB系列提供了不同抽速的型號，以滿足從大型真空爐到巨型鍍膜設備的不同需求。其中，PMB-040C和PMB-060C是兩款代表性產品。

為了直觀對比，下表列出了這兩款核心型號的關鍵性能參數：

除了上述硬性指標，PMB系列還展現了出色的工程細節。例如，其可驅動壓力低至8.0×10?2 Pa，意味著它能在高的真空環境下依然被可靠啟動和運行。同時，所有型號均使用ULVOIL R-72專用油來潤滑獨立的齒輪和軸承箱，并通過精密的密封結構確保油絕不會滲入潔凈的泵腔，實現了“干濕分離"。

04 應用場景：賦能制造的廣泛需求

正是憑借其大抽速、耐蒸汽和高可靠性的特點，ULVAC機械增壓泵系統在多個工業支柱領域成為標配。

在金屬熱處理與冶金行業，大型真空釬焊爐、燒結爐的快速排氣離不開它。在汽車工業中，用于制造高強度輕量化部件的真空壓鑄技術也依賴于這種泵組提供的穩定環境。

在化學與制藥領域，其無油特性使其成為真空蒸餾、溶劑回收和大型凍干機的理想選擇。此外，在食品工業的真空包裝和脫水工藝中，它也能確保生產過程的潔凈與高效。

值得一提的是，ULVAC也將機械增壓泵技術集成到更小巧的單元中。例如VMR-050小型高真空排氣單元，它內置機械增壓泵和輔助泵，實現了“一鍵啟動，從大氣壓直抽至高真空"的便捷操作，特別適合研發實驗室和小型生產線使用。

05 總結與展望：超真空的基石

從龐大的PMB系列工業泵到緊湊的VMR實驗單元，ULVAC愛發科的機械增壓泵技術始終圍繞著一個核心目標：在寬廣的壓力范圍內，提供潔凈、可靠且高效的真空解決方案。

它或許不是真空線上最閃亮的主角，但無疑是確保整個系統高效、穩定運行的核心動力引擎。隨著制造業向更精密、更清潔的方向持續發展，對這類高性能基礎真空裝備的需求將與日俱增。ULVAC通過其深厚的技術積累和對工業需求的深刻理解，正在持續鞏固其作為超真空領域基石的關鍵地位。